1、十萬級無塵車間氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統或房間的風量檢測。

3、十萬級無塵車間室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。

9、十萬級無塵車間溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。

10、總風量和新風量的檢測。